大量程輪廓綜合測(cè)量系統(tǒng)研究.pdf

1、隨著制造技術(shù)的快速發(fā)展，對(duì)各種零件表面輪廓進(jìn)行大量程、高精度的綜合測(cè)量的需求也越發(fā)迫切。然而，由于杠桿觸針式位移傳感器的非線(xiàn)性測(cè)量誤差及測(cè)量力都隨著量程的增大而增大，且不能通過(guò)補(bǔ)償方法將其完全消除，現(xiàn)有的絕大多數(shù)接觸式輪廓儀都面臨量程和精度不可調(diào)和的矛盾，不能應(yīng)用于大量程、高精度的輪廓測(cè)量。
　　 本文研究的輪廓綜合測(cè)量系統(tǒng)在測(cè)量原理上與傳統(tǒng)輪廓儀完全不同，它解決了傳統(tǒng)接觸式輪廓儀難以解決的大量程與高精度不可兼得的問(wèn)題，具有廣闊

2、的應(yīng)用前景。
　　 本文的主要?jiǎng)?chuàng)新與研究?jī)?nèi)容如下：
　　 提出并研究了一種基于零位跟蹤的大量程、高精度的輪廓綜合測(cè)量系統(tǒng)。在每一個(gè)采樣點(diǎn)上，如果位移傳感器的零位偏移值超過(guò)設(shè)定的閾值，測(cè)量系統(tǒng)就驅(qū)動(dòng)垂直位移工作臺(tái)使位移傳感器的零位偏移值回到閾值范圍內(nèi)。大量程輪廓綜合測(cè)量系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)大量程、高精度、小測(cè)量力、高效率的輪廓綜合測(cè)量。
　　 研究了一種新型雙衍射光柵位移傳感器。全面分析了它的原理、特性及非線(xiàn)性測(cè)量誤差。雙

3、衍射光柵位移傳感器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠、體積小巧、抗干擾能力強(qiáng)、測(cè)量分辨率高、非線(xiàn)性測(cè)量誤差小等特點(diǎn)。
　　 提出了杠桿位移傳感器非線(xiàn)性測(cè)量誤差的綜合分析方法。該方法通過(guò)杠桿轉(zhuǎn)角將杠桿前端和后端非線(xiàn)性誤差聯(lián)系起來(lái)形成一個(gè)整體誤差模型。討論了非線(xiàn)性誤差的補(bǔ)償方法及其可行性。
　　 提出了杠桿位移傳感器零位的迭代標(biāo)定方法。零位迭代標(biāo)定法的實(shí)質(zhì)是通過(guò)反復(fù)迭代使傳感器標(biāo)定系數(shù)和零位不斷逼近其真實(shí)值。應(yīng)用該方法能夠準(zhǔn)確地找到雙衍射光柵