基于機器視覺的單晶爐提拉裝置擺動量檢測方法研究.pdf

1、軟軸型單晶爐在生長單晶的過程中，如果提拉裝置的擺動量過大，將嚴重影響單晶的生長質量，為了避免單晶爐設備擺動量過大的問題，在裝配過程中應對提拉裝置進行檢測，以控制擺動量的大小，提高裝備的質量。
　　 本文對單晶爐提拉裝置擺動量的檢測進行了研究，提出了基于機器視覺的擺動量檢測方案。采用了引入徑向畸變和切向畸變的基于OpenCV的攝像機標定方法，保證視覺檢測的精確度。利用相鄰兩幀圖像差分法，HOS分割及形態(tài)學處理等算法得到物體的運動變

2、化區(qū)域；運用中值濾波，直方圖均衡化，灰度線性拉伸等算法增強運動物體與背景的對比度，進行了邊緣檢測；并對運動變化區(qū)域和邊緣圖進行“與運算”處理，采用“貼標簽”算法，消除圖像中的噪聲，得到精確的運動物體的邊緣，采用最小二乘法擬合形心，完成對運動物體的精確定位。提取全部運動序列圖像中運動物體的形心，得到一個形心點集，求其最小包容圓，則在世界坐標系中最小包容圓圓心到擺錘實際擺動中心的距離與最小包容圓的半徑之和，就是所求的最大擺動量。