短路關(guān)鍵面積提取與縮小方法研究.pdf

1、本文主要研究隨機缺陷導致版圖出現(xiàn)短路故障的情況。首先分析了在工藝制造過程中出現(xiàn)隨機缺陷的類型及其引起版圖出現(xiàn)故障的機理，介紹了短路關(guān)鍵面積的含義及模型，分析研究了短路關(guān)鍵面積的提取方法及已有的鄰接矩陣存儲結(jié)構(gòu)。由于短路關(guān)鍵面積的特性，采用已有的儲存結(jié)構(gòu)會導致空間的浪費，故本文給出了一種新的短路關(guān)鍵面積的存儲結(jié)構(gòu)，這種存儲結(jié)構(gòu)在空間上取得很大的改進。
　　此外，本文進一步研究了短路關(guān)鍵面積的縮小。通過把版圖轉(zhuǎn)化為圖像，從圖像角度出發(fā)

2、，結(jié)合數(shù)學形態(tài)學膨脹算法原理，提出了一種新的短路關(guān)鍵面積縮小算法。文中還給出了兩種實現(xiàn)該縮小算法的方法：可移動空間試探法和可移動距離中值法，并對這兩種實現(xiàn)方式進行了簡單的分析。本文提出的這種縮小算法不但考慮了缺陷的真實輪廓特征和粒徑分布特征，而且不受版圖線網(wǎng)的形狀的制約，為版圖優(yōu)化提供了更準確的依據(jù)。
　　在此基礎(chǔ)上，本文基于鄰接表實現(xiàn)了COE（Critical Area On Edge Network）網(wǎng)的構(gòu)造及關(guān)鍵路徑的提取，