納米三坐標測量機誤差補償及精度評定.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、為了使納米三坐標測量機可以對被測件的三維特征尺寸實現(xiàn)高精度測量，本文介紹的主要研究工作如下:
　　1、對納米三坐標測量機共平面XY二維平臺傳感器多自由度測量系統(tǒng)(Multi-degrees-of-freedom measurement system，MDFMS)進行了完善，增加了波長補償模塊及自動恒功率電路模塊，并將其與邁克爾遜干涉儀模塊有效結(jié)合，使得多自由度測量系統(tǒng)位移測量分辨率達到1 nm，波長穩(wěn)定性優(yōu)于10-6，在20 mm

2、的行程內(nèi)各點定位誤差小于±20 nm，多次測量標準差小于15 nm，實現(xiàn)了平臺運動的高精度位移測量;自準直儀模塊可以有效測量平臺在運動過程中俯仰偏擺角度，其分辨率可達0.1角秒，±100角秒測量范圍內(nèi)誤差不超過±0.5角秒，由此可補償對測量機影響顯著的阿貝誤差。
　　2、對多自由度測量系統(tǒng)、Z軸位移傳感器線性衍射光柵干涉儀(LinearDiffraction Grating Interferometer，LDGI)及探頭內(nèi)三維位移

3、傳感器進行了校正，通過與SIOS激光干涉儀、Renishaw激光干涉儀的對比、標定實驗使得各部分的測量精度得到了有效的保證。
　　3、將納米三坐標測量機體積誤差中主要包含的定位誤差、角度誤差、直線度誤差、垂直度誤差、阿貝誤差、平面鏡誤差及鏡面偏擺造成的光程差這些誤差源逐一推導并架設(shè)實驗進行補償，有效減小了納米三坐標測量機的體積誤差。
　　4、通過對高精度恒溫箱及隔震平臺的有效利用，減小了環(huán)境對納米級測量的影響，并將經(jīng)過誤差補

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