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文檔簡介
1、本文對Gd<,2>O<,3>摻雜CeO<,2>電解質(zhì)薄膜的生長及電學性能進行了研究。文章采用反應磁控濺射方法,在(0001)藍寶石單晶襯底上,制備了納米多晶Gd<,2>O<,3>摻雜CeO<,2>(簡稱GDC)氧離子導體電解質(zhì)薄膜,采用XRD、AFM對薄膜物相、結(jié)構(gòu)、粗糙度、表面形貌等生長特性進行了表征,利用交流阻抗譜儀測試了GDC薄膜不同溫度下的電學性能。實驗結(jié)果表明,GDC薄膜為面心立方結(jié)構(gòu),在所研究的襯底溫度范圍內(nèi),均呈強(111
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