亞波長金屬結構在高分辨聚焦成像的應用.pdf

1、隨著21世紀初納米科技的飛速發(fā)展，納米光子學也如雨后春筍般在世界各地應運而生，而且得到了蓬勃發(fā)展。當前納米光子學中有一個研究熱點，那就是Plasmonic, Plasmonic是基于表面等離子體激元（Surface Plasmon Polaritons）而新興的一個研究領域，表面等離子體借助金屬納米顆?；蛘哔F金屬的亞波長的納米周期結構，可以將光的電磁能量盡可能的限制在納米量級的范圍之內(nèi)，使得近場區(qū)域的光的電磁場強度得到很大的提升，甚至通

2、過這些周期性的金屬納米結構操控光的活動。表面等離子體有兩個重要的性質：第一個是表面等離子體可以將光波約束在亞波長尺寸的空間內(nèi)；第二個是局域的電磁場增強，即金屬—介質的界面上存在比較大的場強分布。
　　作為研究表面等離子光學的一個重要工具，近場光學掃描顯微鏡起著無可替代的作用。近場光學掃描顯微鏡是光學領域的一次革命，它能獲得突破傳統(tǒng)光學衍射極限的分辨率，為本文研究表面等離子體的超聚焦成像起到?jīng)Q定性的作用。本文簡明扼要的介紹了近場光學

3、顯微鏡的發(fā)展歷史，然后介紹了近場掃描探針金屬以及相應的系統(tǒng)組成。最后，結合本文的主要研究內(nèi)容介紹了近場光學掃描顯微鏡的應用。
　　本文從物理模型上詳細介紹了表面等離子的各種性質，并且詳細介紹了表面等離子的激發(fā)方式。而在表面等離子透鏡的制作方面，我們采用的聚焦離子束刻蝕技術制作，F(xiàn)IB制作工藝具有直接刻寫非常小的線條的能力，本文也簡單的介紹了一下聚焦等離子束刻蝕技術，分析了聚焦等離子束制作表面等離子透鏡的各種因素。
　　在表面