微細電解銑削加工精度控制問題研究.pdf

1、隨著微細加工技術的發(fā)展,微型零部件在各個領域的應用日益廣泛。微細電解加工技術是一種新興的微細加工技術，具有加工表面質量好、無殘余應力、工具電極無損耗等優(yōu)點，在微型零部件的制造方面具有獨特的優(yōu)勢與很好地應用前景。
　　微型腔和微型槽（穿透或不穿透）是一些微型傳感器和執(zhí)行器的核心結構之一。微型腔和微型槽的加工精度和表面質量對微型傳感器和執(zhí)行器的產品性能有著重要的影響。在微細電解銑削的過程中，由于雜散腐蝕的存在，微型腔和微型槽的加工精度

2、經常難以保證。本文針對此問題，基于實驗室的微細電解加工設備和控制程序，從脈沖電源、電解液和工藝設計等方面，詳細研究了提高和控制微型腔和微型槽的尺寸精度和形狀精度的方法。
　　加工間隙是微細電解加工中衡量雜散腐蝕影響程度的核心指標。研究中首先通過多組加工實驗，重點研究了加工參數(脈沖幅值、脈沖頻率、脈沖寬度、主軸轉速)對微型腔的加工間隙、表面質量以及材料去除速率的影響規(guī)律，同時探討了采用中性鹽溶液作為電解液進行微細電解加工的可行性。

3、研究結果表明，隨著加工過程中脈沖能量的增大，微細電解加工的加工間隙隨之增大，雜散腐蝕隨之嚴重，材料去除速率也隨之提高；主軸轉速在超過一定的轉速后，對微細電解加工的影響并不明顯；在納秒脈沖電源條件下，酸性電解液比中性電解液更能滿足微細電解加工的要求。
　　在上述研究工作的基礎上，研究中還通過專門設計的多組實驗，先后加工54個微型槽，分別研究了脈沖幅值、脈沖頻率、脈沖寬度、分層厚度以及電解液濃度對微型槽加工精度的影響，以及通過改加工變