變曲率光柵的成像特性研究及相關(guān)測試技術(shù).pdf

1、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)博士學(xué)位論文變曲率光柵的成像特性研究及相關(guān)測試技術(shù)姓名：劉斌申請學(xué)位級別：博士專業(yè)：核技術(shù)及應(yīng)用指導(dǎo)教師：傅紹軍王秋平20060401中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)博士學(xué)位論文摘要并給出了由此帶來的成像性能變化。其后，提出了消像差壓彎光柵單色器概念，并進(jìn)行了數(shù)值模擬計算。最后，對壓彎光柵線密度進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)測試工作，實(shí)驗(yàn)結(jié)果證實(shí)了變曲率或壓彎光柵的線密度變化與理論預(yù)測相符，為相關(guān)系統(tǒng)的應(yīng)用奠定了基礎(chǔ)。二、長程面形儀光柵刻線密度測試系統(tǒng)的研

2、究2004年初，合肥國家同步輻射實(shí)驗(yàn)室(NSRL)和美國布克海文國家實(shí)驗(yàn)室(BNL)展開合作，作者參加了相關(guān)的建設(shè)工作，于2005年5月建成了一臺長程面形輪廓測量儀。在此基礎(chǔ)上，搭建了長程面形儀光柵線密度的測試裝置，給出了LTP測試變間距(VLS)光柵和凹面光柵的一般表達(dá)式，并進(jìn)行了較為系統(tǒng)的誤差分析。當(dāng)用于測試非平面光柵時，發(fā)現(xiàn)測試精度受光柵放置誤差(離軸誤差)的影響比較大。不同于衍射法測試非平面光柵時，光柵面形與離軸誤差互相耦合的現(xiàn)