高質(zhì)量非規(guī)整多層光學薄膜自動制備的研究.pdf

1、 本文針對如何利用Leybold APS 1104 DWDM 鍍膜機制備多層非規(guī)整薄膜濾光片進行了深入的研究。 首先，學習了薄膜光學中的一些基本理論與技術，接著，從離子源、蒸發(fā)源、真空獲得、膜厚監(jiān)控等方面詳細分析了Leybold APS1104 DWDM 的工作特性以及它與普通鍍膜機的不同點，并從這些適合于制備DWDM 濾光片的特性中總結出對制備多層非規(guī)整薄膜濾光片有利和不利的特性。 然后，針對這一問題提出了適合于單波長直接控

2、制法的非規(guī)整膜系設計要求。結合這些要求詳細分析了非規(guī)整膜系的設計方法，提出了ρ 條件因子，用于對膜系質(zhì)量進行定量分析。利用這種方法設計的多層非規(guī)整膜系進行實驗，取得了良好效果。 為了在膜系的優(yōu)化設計中自動滿足上述要求，提出一種全新的帶限制因子膜系優(yōu)化算法，該算法通過增加膜系中的限制因子來獲得滿足多層非規(guī)整光學膜系設計要求的監(jiān)控曲線?？梢岳肰BA (Visual Basic for Applications)同時結合FilmStar