微通道氣體流動(dòng)的分子動(dòng)力學(xué)模擬.pdf_第1頁(yè)
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1、隨著精密加工技術(shù)和微電子技術(shù)的發(fā)展,出現(xiàn)了越來越多的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)器件.由于器件尺寸的減少,形成了許多微結(jié)構(gòu).但這些微結(jié)構(gòu)中的物理特性嚴(yán)重影響著器件的性能.所以對(duì)微結(jié)構(gòu)中的微觀非經(jīng)典問題的研究尤為重要.使用基于分子的模型現(xiàn)在成為研究微流體流動(dòng)的一個(gè)重要方法和方向.論文在分子運(yùn)動(dòng)論和分子動(dòng)力學(xué)的基礎(chǔ)上,分析二維狀態(tài)下,分子平衡狀態(tài)時(shí)的速度分布函數(shù)、三種速率的表達(dá)公式以及分子平均自由程的計(jì)算公式.可以看出這些參數(shù)在二維體系與三維

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