集成電路制造工藝教案

1、名師精編 精品教案四川信息職業(yè)技術學院教 案課程編碼： 0231124 課程名稱： 集成電路制造工藝 課程性質： 必修課 總學時/學分： 64/4 授課專業(yè)： 微電子技術 授課教師：

2、 王志強 使用學期： 2012 —2013 學年第 1 學期 教研室審批意見及時間： 名師精編 精品教案課程授課學時安排表 課程授課學時安排表班號 班號/周次 周次 編 號 1 2單元或項目名稱 單元或項目名稱 計劃 計劃學時 學時 備注 備注1 1 緒論Ⅰ 2 理論課2 1 緒論Ⅱ 2 理論課3 1 硅晶圓片制造技術—硅及材料；單晶硅材料； 2 理論課4 2

3、硅晶圓片制造技術—晶圓加工成形 2 理論課5 2 硅外延生長 2 理論課6 2 物質形態(tài)及材料屬性工藝用化學品 2 理論課7 3 玷污的類型及玷污與控制 2 理論課8 3 硅片濕法清洗 2 理論課9 3 集成電路測量學及質量測量 2 理論課10 4 硅片的質量分析設備 2 理論課11 4 集成電路芯片制造工藝概述Ⅰ 2 理論課12 4 集成電路芯片制造工藝概述 Ⅱ 2 理論課13 5 氧化技術—Si02 及掩蔽作用； 2 理論課1

4、4 5 氧化技術—熱氧化及熱氧化生長動力學； 2 理論課15 5 氧化技術——氧化速率及雜質再分布 2 理論課16 6 擴散機構及雜質濃度分布； 2 理論課17 6 常用雜質的擴散方法 2 理論課18 6 擴散層參數(shù)測量和質量分析 2 習題課19 7 半期考試 理論課20 7 光刻技術—光刻工藝要求及光刻膠 2 理論課21 7 光刻技術—光刻工藝Ⅰ 2 理論課22 12 光刻技術—光刻工藝Ⅱ及質量分析 2 理論課23 12 刻蝕—濕法刻