單晶作業(yè)指導書

1、一、取單晶準備1、準備好線手套、耐高溫手套、無塵紙；2、準備好鋼絲鉗、取單晶的小車；3、用沾酒精的無塵紙將爐體從上到下擦拭干凈，并保持整潔；二、拆爐取單晶1、待單晶冷卻4小時后，關閉Ar氣，然后提升單晶至副室，從副室觀察窗確認單晶升至所需高度；2、待爐內壓力到達極限真空后，先關閉主泵球閥后關閉真空泵電源，然后進行檢漏；3、若無異常，擰開小副室門四個螺栓，打開副室氬氣閥門，查看副室壓力表指針到0位和副室小門可以被打開時，才可以升晶棒到副室

2、腔內并高于副室門，蓋上隔離閥，打開液壓泵電源，升起副室；4、把取單晶的小車放在副室爐筒正下方，準備接單晶；5、穩(wěn)定單晶，移開安全接盤，按下晶快降，將單晶降入取晶小車內；6、確認單晶完全放入小車內后，戴上手套，抓緊重錘，用鋼絲鉗將籽晶從細徑處剪斷，然后穩(wěn)定重錘，將籽晶從重錘上取下，再將重錘升至副室內；三、導流筒.保溫蓋.鍋底料的取出1、準備好不銹鋼小車和取導流筒掛鉤（堝桿扳手）；2、戴好手套及耐高溫手套；3、按順序取出導流筒和保溫蓋；4、

3、取出的石墨件要放在不銹鋼臺車上；1、戴好耐高溫手套和準備好鉗子；2、用鉗子夾住石英堝的上端部分提起，使其松動；3、戴好耐高溫手套將石英坩堝取出，若石英坩堝和堝底料能全部帶出直接放入不銹鋼小車上；若不能則將石英坩堝硅料放到車間指定的區(qū)域，剩下的堝底料隨三瓣堝一并取出，若出現(xiàn)整爐報廢等意外情況則，用耐高溫手套直接將石英堝體和硅料一并取出；四、清理大罐1、準備好毛刷、吸管、專用工具；2、帶好手套、防塵口罩；1、用專用工具大罐蓋螺栓，取出罐蓋和

4、過濾網(wǎng)；2、用毛刷和吸塵器仔細清掃過濾網(wǎng)及大罐內的氧化物；3、將清掃后的過濾網(wǎng)緩慢放進大罐；4、用刷子和吸塵器清掃罐蓋；5、用沾酒精的紙擦拭罐蓋和密封部件；6、蓋好大罐蓋并用專用工具擰緊螺栓；五、管道爐蓋的清理1、帶口罩、手套；2、準備好防塵口罩、無塵紙、酒精、清掃用的氬氣、研磨布、毛刷、吸塵器管等清掃所需物品；打開液壓泵電源，按爐蓋降按鈕下爐蓋副室的清掃1、準備好清掃棒、無塵紙、酒精、氬氣；2、在清掃棒上纏上沾有酒精的無塵紙，清掃副室

5、內部至上部；3、用清掃棒吹掃副室內部至上部，直至確認無污物；4、用沾有酒精的無塵紙認真擦拭重錘及鉬夾頭，最后用氬氣認真吹凈；5、按晶快升升起重錘至適當位置，用沾有酒精的無塵紙擦拭副室下部的接合部和爐蓋上部的接合部，轉動副室，降下與爐蓋合爐；安裝籽晶1、用沾有酒精的無塵紙認真擦拭籽晶，并用氬氣吹凈；2、把籽晶裝在夾頭上，裝好鉬銷；3、用力向下拽一下籽晶使其牢固，穩(wěn)定好籽晶后，按晶快升使其上至適當位置，關閉副室小門，開始抽空；抽空1.打開真

6、空泵電源；2.緩慢打開球閥；3.抽空后爐內力達＜20Pa時，進行反復充氬氣，使爐內壓力＜10Pa；4.關閉真空球閥，進行冷檢漏3分鐘，看漏率是否小于1Pa；加熱化料1、抽空完成后，漏率達到要求后，打開真空球閥，打開氬氣閥門，設定流量為20升分，使爐內壓力達到1000Pa左右；2、確認單晶爐進水、出水開關打開，并檢查各進水分支開關已打開；3、打開加熱電源開關；4、根據(jù)通過歐陸手動狀態(tài)的OP功能每半小時，分步增加功率；(10、30、70、9

7、0KW)引晶溫度調試1、溫度切入自動后，按晶快降，將籽晶降至從主觀察窗能看到的位置；2、20分鐘后，按晶快降按鈕將籽晶降至距液面20mm處預熱20分鐘；3、降籽晶使之與液面接觸，晶轉設定為8轉分，熔接10分鐘，根據(jù)接觸光圈的形狀（光圈圓合適，方不合適溫度低），確定引頸溫度是否合適，若合適開始引頸，若不合適，通過歐陸調整溫度20分鐘后開始引頸，溫度不宜偏低；引晶1、打開晶升電源，計長清零；給定堝轉至7轉分.；2、緩慢提升拉速至1.5mmm