晶圓預對準系統(tǒng)的控制系統(tǒng)設計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、光刻機是超大規(guī)模集成電路硅晶片制造的關鍵設備之一。晶圓預處理系統(tǒng)是光刻機的重要輔助設備，用來對送往曝光臺的晶圓的位置和姿態(tài)進行定位調整和對準。晶圓預對準系統(tǒng)的對準精度直接影響硅片的曝光精度。因此，晶圓預對準系統(tǒng)的調整和控制精度都很高。研制一種用最新的具有高性價比的檢測和控制器件組成的，具有高可靠性，較低成本，集成化特點的高精度、高效率的晶圓預對準系統(tǒng)，具有重要的實用價值。 論文根據晶圓預對準系統(tǒng)的功能要求和工作指標，參考國內和國

2、外已有的類似系統(tǒng)的研究成果，確定了系統(tǒng)的結構和晶圓預對準的檢測算法。運用最小二乘圓法作為系統(tǒng)晶圓圓心的檢測方法，采用邊緣變化率算法查找缺口范圍，再通過圓弧擬合的方法求出缺口中心位置。在此基礎上設計晶圓預對準系統(tǒng)的結構和工作流程。 系統(tǒng)的組成選擇嵌入式系統(tǒng)作為晶圓預對準系統(tǒng)的控制系統(tǒng)。選定TI公司的C2000系列DSP控制器作為系統(tǒng)的主控芯片。根據系統(tǒng)的控制任務和嵌入式控制系統(tǒng)的硬件特點和總體控制結構，分析了嵌入式控制器各項的控制

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