多干涉圖組合測試中的空間一致性研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、在近代光干涉測量技術(shù)中，對于干涉圖的識別方法是其與傳統(tǒng)的光干涉測量技術(shù)的本質(zhì)的區(qū)別。數(shù)字球面干涉儀基于移相干涉技術(shù)，自動采集數(shù)字干涉圖，并通過波面求解算法準(zhǔn)確計算出其中所包含的波面信息。進(jìn)行絕對檢驗時，需要對多個對象進(jìn)行測試，并對波面做點對點的運算。因此，保障各個測試對象之間相對位置的準(zhǔn)確則成了一個控制誤差的關(guān)鍵因素?？臻g一致性理論基于對數(shù)字干涉圖的識別，提取空間位置特征參數(shù)及分析一致性精度，達(dá)到輔助調(diào)整的目的，從而實現(xiàn)高精度的測量。

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