曲面激光直寫光刻技術研究.pdf

1、本文重點討論了曲面光刻的關鍵技術——自動調焦系統(tǒng)，并對曲面工藝及光刻線條進行實驗分析。 在曲面調焦系統(tǒng)調焦范圍過小這一問題上，提出步進電機、壓電陶瓷二級定位驅動機構。通過PID比例調節(jié)，很好的解決了二級驅動系統(tǒng)的控制冗余問題。在此基礎上，提出全新的預搜索機制，完成初始化時的物面焦點搜索，使得系統(tǒng)對基片厚度變化有較大的適應性。 在曲面探焦方法的選擇上，首先我們分析了現(xiàn)有探測方法——離軸二象限探測器法，根據(jù)zemax光線仿真

2、結果，我們得出了離軸二象限法在曲面調焦問題上不再具有可行性。為此我們提出兩種實現(xiàn)方法，偏心光束法和針孔調焦法。針對針孔調焦法不能給出離焦方向這一問題，我們借鑒雙管差動原理，不僅可以給出離焦方向，同時差動還可以消除外界因素的影響，提高系統(tǒng)調焦精度，找到了理論上曲面調焦探測的較佳方法。 同時，我們對曲面甩膠工藝進行了理論分析，建立了膠層流體力學模型，得出凸球面的膠層厚度變化趨勢和曲面的曲率、勻膠轉速的關系。通過曲面光刻實驗，我們在曲