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文檔簡介
1、本文采用固相法和溶膠-凝膠法(sol-gel)制備了大尺寸超導靶材,并對制備出的粉體及靶材進行了測試分析。通過XRD測試分析可知,sol-gel法制備的YBCO超導原粉比固相法制備的YBCO超導原粉的燒結(jié)溫度低50℃,并且工藝簡單,粉體純度較高。由掃描電鏡和透射電鏡分析可知,sol-gel法制備的YBCO粉體的粒度較小,靶材的致密性較好。R-T曲線測試分析表明,溶膠-凝膠法比固相法制備出的超導靶材的轉(zhuǎn)變溫度稍高些,轉(zhuǎn)變寬度△Tc也較小。
2、因此,我們得出溶膠-凝膠法制備的粉體更適宜制備高質(zhì)量的超導靶材。 另外,我們還利用溶膠-凝膠法制備了釔穩(wěn)定氧化鋯(YSZ)溶膠和YBCO溶膠,利用浸漬提拉法制備了YSZ緩沖層,并在緩沖層上制備了YBCO薄膜。由XRD圖和SEM圖可知選擇濃度為0.35mol/L,粘度為1.8×103Pa·s的溶液制備出的YSZ的薄膜結(jié)構(gòu)較好,YSZ薄膜在800℃以上熱處理后形成了完整的立方相結(jié)構(gòu),并且薄膜表面比較均勻。由電子衍射表明,以YSZ為緩
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