雙聲路聲表面波質(zhì)量沉積效應(yīng)傳感器研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該課題研制了一種SAW質(zhì)量沉積效應(yīng)傳感器.在LiNbO<,3>晶片上設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了一種新型的雙聲路延遲線型聲表面波質(zhì)量傳感器.利用光刻工藝在每個(gè)聲傳播路徑上構(gòu)造了一個(gè)方形質(zhì)量沉積區(qū),當(dāng)有物質(zhì)沉積到該區(qū)時(shí),由于質(zhì)量沉積效應(yīng),聲表面波的波速發(fā)生變化,使以延遲線作為反饋回路的振蕩器的振蕩頻率發(fā)生變化,并通過這一變化反映出沉積物的質(zhì)量.為了補(bǔ)償溫度對器件傳輸頻譜的影響,該器件采用雙聲路結(jié)構(gòu),一路為測試聲路,一路為參考聲路.論文共分七章.第一章介紹

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