LTCC疊層片式雙工器的研究.pdf

1、LTCC技術是近年發(fā)展起來的令人矚目的整合組件技術，已經成為無源集成的主流趨勢，能夠滿足電子系統(tǒng)小型化，低成本化發(fā)展的要求。本文對LTCC雙工器設計和制作進行了基礎研究，主要內容包括LTCC基本無源單元電容π型和T型等效電路模型的推導和驗證，LTCC雙工器的設計和制作。
　　在參考文獻查閱的基礎上，本文重點推導了LTCC電容元件π型和T型高頻等效電路模型的建立過程，采用Z矩陣、Y矩陣與物理模型相結合的方法推導出電容等效電路中元件的

2、表達式，簡化了推導過程，得到與文獻一致的結論。用兩層的MIM電容仿真實例對π型和T型等效電路模型進行驗證，得出π型等效電路模型在電容的自諧振頻率范圍內與三維物理模型的仿真結果是吻合的，而T型等效電路模型的精確度則可以達到二階諧振頻率點。等效電路模型的生成，有利于無源集成設計中元件庫的建立。
　　雙工器的基礎研究包括了雙工器的結構設計與工藝實現驗證。為了實現復雜的雙工器，本文首先對結構較為簡單的濾波器進行了設計和制作，測試的濾波器樣

3、品頻響特性能夠滿足設計的特性指標要求，說明了LTCC的軟件設計與工藝條件對實物制作有實際指導意義?；跒V波器成功的設計案例和工藝經驗的指導，設計了LTCC雙工器，該雙工器的低頻通帶從DC到200MHz，高頻通帶從1.5GHz到1.7GHz，高頻通帶和低頻通帶內插損均為1dB。經過樣品的制作和分析，最后樣品性能測試結果與仿真結果吻合得較好，但是帶外的衰減抑制不太理想，對LTCC雙工器進行SEM微觀分析其原因，主要是由于LTCC工藝的不精準