金屬膨脹式真空自動校準系統(tǒng).pdf

1、真空技術是一門應用廣泛的基礎學科，尤其在電力領域，真空技術的應用覆蓋了從發(fā)電、輸變電、到用電設備加工制造等各個方面。在某些應用領域，真空測量的準確度關系到真空產(chǎn)品的質(zhì)量及運行性能，從而對真空校準的范圍及精度提出了更高的要求。 目前真空校準領域的現(xiàn)狀是自動化程度不高，國內(nèi)還未出現(xiàn)真空自動校準系統(tǒng)，國際上也很少。隨著計算機技術的發(fā)展及各種電動控制工具的出現(xiàn)實現(xiàn)真空校準的自動化不僅可行而且非常必要了。 本文結(jié)合上海計量測試技術

2、研究院的“低真空校準裝置的改造”項目，開發(fā)了一套金屬膨脹式真空自動校準系統(tǒng)。膨脹法校準具有制作簡單、操作方便、校準效率高的特點，并且在低真空領域具有較高的校準精度。 本文設計了多級膨脹結(jié)構以拓寬膨脹法在高真空區(qū)的校準范圍，介紹了前級壓力和氣室體積的測量方法，討論了影響校準精度的溫度變化、氣體吸附等干擾效應，并提出了解決方案。系統(tǒng)采用了電氣動閥門及帶計算機通訊接口的測量儀表使得自動控制成為可能。采用工控機、PLC(可編程控制器)上