復雜形狀微細電極的制備與電解加工試驗.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著科學技術以及微機電系統(tǒng)(MEMS)的發(fā)展，零件尺寸越來越趨于微小型化，其相對應的微細加工技術已成為各工業(yè)發(fā)達國家廣泛關注和重點投入的研究熱點。微細電解加工是利用金屬在電解液中可以發(fā)生陽極溶解的原理，以離子溶解方式去除材料，理論上可以達到微米甚至納米級別。因此，微細電解加工技術在微細制造領域顯示出來巨大的發(fā)展?jié)摿Α?br>　　 微細電解加工技術的關鍵之一在于微細工具的制備。傳統(tǒng)的電化學腐蝕方法只能制備圓柱形狀工具電極，因而存在一定的

2、局限性。本文提出采用基于微細電解線切割加工技術在線制備復雜形狀微細工具電極的方法，并通過加工試驗驗證了該方法的可行性。主要內(nèi)容包括以下幾個方面：
　　 (1)搭建了試驗加工裝置。選取合適的主軸電機，設計了棒料工件及微細線電極的夾具，解決了微細線電極的裝夾及加工進給等問題。
　　 (2)試驗探討了微細電解線切割工藝參數(shù)對微圓柱鎢棒料切割加工結果的影響。進行了一系列的基礎工藝試驗，從加工電壓、進給速度、電源脈沖寬度、電解液濃

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