基于MEMS的濾波器研究.pdf

1、將某一個波段的波長光信號從集中的多波長混合信號中有選擇性的提取出來的可調諧光濾波器,是在密集波分復用(DWDM)系統(tǒng)中不可少的器件。隨著密集波分復用技術的不斷進步,在光纖中傳輸的波長數也會越來越多,單個信道的傳輸速率也會越來越高,光通信網正在由靜態(tài)的波分復用系統(tǒng)朝著高速的動態(tài)路由的全光通信網絡系統(tǒng)進行演變。
　　波分復用的系統(tǒng)對可調諧的光學濾波器的性能要求,會越來越高,除了要有較大的可調諧范圍,優(yōu)良的濾波特性,很小的信道串擾,其成

2、本也要達到最低。由于使用可調諧光濾波器不僅可以大大降低系統(tǒng)的尺寸和復雜性,并且可以適應多通信協(xié)議復用要求,因此可調諧濾波器設計近年來已成為研究熱點之一。目前已有的可調諧光學濾波器技術,主要有聲光型的可調諧光學濾波器(AOTF),陣列波導光柵型(AWG)的可調諧光學濾波器,法布里-珀羅(F-P)腔型的可調諧光學濾波器,光纖光柵型的可調諧光學濾波器等等。以上這些核心技術都各有特點,但不能同時滿足比較大的可調諧范圍、較低的成本、較低的串擾、通

3、帶平頂和偏振以及溫度不敏感等要求,因此在實際工程項目應用中有局限性。
　　本論文以MEMS反射鏡結合衍射型光柵的可調諧光學濾波器為主要的研究對象,基于光學元器件的光學特性,對衍射型光柵的各種特性進行了較為詳細的分析,得到了在光譜拓展后分光的規(guī)律。通過MEMS反射后單點探測器的接收功率算法的研究,設計并制備了可調諧光濾波器。實驗證明結果可以達到設計所需的指標。主要的工作、結論及創(chuàng)新點如下:
　　利用小尺寸的MEMS反射鏡和衍射