基于絕緣體上的硅材料的刻蝕光柵式分波合波器研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、SOI材料的多模平板波導也是影響器件性能的重要因素.論文用數(shù)值模擬和模式重疊積分法研究了平板波導基模經傾斜光柵槽面反射后產生高階模的問題;首次用權重重疊積分法研究了大截面脊形波導和多模平板波導間的耦合問題;論文同時也用一種更為簡單的限制系數(shù)法估算了脊形波導和平板波導的耦合效率.在此基礎上,從平板波導多模問題的角度,給出了器件的波導結構和工藝誤差對器件串擾的影響.集成波導拐彎微鏡可以在很小的空間內改變波導的方向,因此對減小平面光波導器件的

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