光柵檢測及定位控制技術(shù)的研究.pdf

1、精密定位技術(shù)是一項(xiàng)高新技術(shù)，它是半導(dǎo)體器件制造業(yè)、超精密加工、微型機(jī)械、電子產(chǎn)品組裝生產(chǎn)線、生物工程及納米技術(shù)研究領(lǐng)域的關(guān)鍵性基礎(chǔ)性技術(shù)，同時也是一門綜合性技術(shù)，涉及光學(xué)、電子、機(jī)械、計算機(jī)、信息處理、傳感與測量、伺服驅(qū)動、自動控制及其它一些周邊支撐技術(shù)。 本論文提出了利用激光摩爾信號進(jìn)行高精度位置檢測與控制的技術(shù)方法，首先對雙光柵衍射透射和反射模型進(jìn)行了數(shù)學(xué)和物理原理分析和建模，對其數(shù)學(xué)模型進(jìn)行了系統(tǒng)的仿真，對模型參數(shù)改變后的

2、各種情況進(jìn)行了討論和探討。經(jīng)仿真發(fā)現(xiàn)透射零級摩爾信號周期性好、定位點(diǎn)附近線性好，結(jié)合實(shí)驗(yàn)結(jié)果它的光強(qiáng)也最強(qiáng)，是非常適合作為精密定位信號的；一級衍射信號盡管周期性和線性都不錯，但實(shí)驗(yàn)中發(fā)現(xiàn)其光強(qiáng)較零級弱，所以系統(tǒng)選用零級衍射摩爾信號作為定位檢測信號。另外還對反射衍射模型進(jìn)行了分析和仿真，并對透射模型在光柵參數(shù)發(fā)生變化(如透光比變化)和粗細(xì)光柵組合時的衍射信號進(jìn)行了仿真和分析，為以后的研究和系統(tǒng)改進(jìn)打下基礎(chǔ)。然后在原有差動定位技術(shù)的基礎(chǔ)上，