微小內尺度測量系統(tǒng)精度分析及若干關鍵問題研究.pdf

1、隨著精密工程技術、尖端技術和空間技術的迅速發(fā)展，微小內尺度零件被廣泛應用在各個工業(yè)領域中，對其加工及檢測精度也提出了越來越高的要求。盡管各國均在積極研究微小內尺度精密測量技術，卻由于缺乏對其測量精度全面有效的評估，嚴重阻礙了測量技術的進一步發(fā)展和完善。因此，本文對自行研制的微小內尺度測量系統(tǒng)進行了精度分析及若干關鍵問題的研究，對影響測量結果的不確定性因素有了較為完整和清晰的認識，從而為進一步提高該測量系統(tǒng)的測量精度提供了一定的借鑒和指導

2、。
　　本文基于測量不確定度評估理論，從影響測量結果的不確定度來源入手，分析了各標準不確定度分量的作用機理，建立了其評估模型，并對其部分影響參數進行了檢測，得到了各標準不確定度分量的具體數值。對標稱直徑Ф0.3mm微孔端面以下0.5mm截面處的直徑進行了瞄準觸發(fā)重復測量，利用高精度的數據補償方法對測量結果進行了處理，并給出了其合成標準不確定度及擴展不確定度的評估結果。主要內容如下：
　　(1)在全面了解微小內尺度測量系統(tǒng)組成

3、、測量原理及測量過程的基礎上，從測量設備、測量方法、測量環(huán)境及人員三個方面分析了影響微孔直徑測量結果的各標準不確定度分量來源，對其作用機理進行了數學建模，給出了各標準不確定度分量的評估方法。
　　(2)通過引用或實驗檢測得到各標準不確定度分量的具體數值。對于不能通過引用資料進行評估的部分參數，在參考國家及地方標準和規(guī)范的基礎上，自行設計光電檢測方法，并對檢測數據進行處理和評定。
　　(3)針對微小內尺度瞄準觸發(fā)測量過程中精確