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1、二氧化釩(VO2)是一種被廣泛研究的具有熱致相變特性的熱敏材料。當(dāng)溫度升高到68℃附近,發(fā)生晶相的轉(zhuǎn)變,相變前后光學(xué),電學(xué)性能突變,因此在很多領(lǐng)域具有重要的研究?jī)r(jià)值。近年來(lái),VO2在智能窗,激光防護(hù)等領(lǐng)域取得了很好的進(jìn)展。
本文采用無(wú)機(jī)溶膠-凝膠法制備VO2薄膜。通過(guò)實(shí)驗(yàn)探索了制備VO2薄膜的工藝條件。探討了不同熱溫度,不同保溫時(shí)間下制備VO2薄膜的較佳條件以及不同摻雜方式及不同摻雜原料對(duì)于薄膜性能的影響。運(yùn)用XRD分析薄膜的
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