雙質(zhì)量硅微陀螺儀模擬測控電路關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、雙質(zhì)量硅微陀螺儀是一種微型慣性傳感器，它通過哥氏效應(yīng)使得質(zhì)量塊被物體帶動旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的對應(yīng)位移來測量轉(zhuǎn)動角速度。與傳統(tǒng)的陀螺儀相比，硅微陀螺儀不僅具有體積小、重量輕、功耗低、可靠性高等優(yōu)點，而且更易于實現(xiàn)數(shù)字化和智能化，因此在國民經(jīng)濟和國防軍事等領(lǐng)域都有著重要的應(yīng)用價值和廣闊的應(yīng)用前景。而雙質(zhì)量陀螺儀是硅微陀螺儀中較為成熟的一種，其性能的優(yōu)越性已經(jīng)得到了較好的驗證。
　　本文以課題組自行研制的雙質(zhì)量硅微陀螺儀為研究對象，深入研究其模

2、擬測控電路的若干關(guān)鍵技術(shù)，包括載波技術(shù)、接口技術(shù)的理論基礎(chǔ)分析、仿真、設(shè)計、制板調(diào)試，最終實現(xiàn)模擬測控電路的關(guān)鍵技術(shù)改進方案，進行測試實驗。本文的主要工作可以歸納為以下幾個方面：
　　(1)概述了目前國內(nèi)外硅微陀螺儀模擬測控電路的研究現(xiàn)狀，簡單介紹了硅微陀螺儀的主要性能參數(shù)。
　　(2)在介紹硅微機械陀螺儀結(jié)構(gòu)和基本原理的基礎(chǔ)上，分析其動力學(xué)原理，建立其動力學(xué)模型，通過靜電驅(qū)動和電容檢測等主要機電轉(zhuǎn)換機理為電路特性研究提供基