非對(duì)稱扭擺式隧道加速度計(jì)的研制.pdf

1、東南大學(xué)碩士學(xué)位論文非對(duì)稱扭擺式隧道加速度計(jì)的研制姓名：史建偉申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：陳德英2000.3.1公式，得出了測(cè)量范圍和標(biāo)度因數(shù)根據(jù)所得的參數(shù)，兼顧到量程、頻率、剛性條件和彈性條件以及工藝條件的綜合要求，利用MATLAB語言輔助設(shè)計(jì)，對(duì)加速度傳感器的結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，得出較合理的設(shè)計(jì)結(jié)果撓性軸是非對(duì)稱式扭擺式加速度傳感器中的關(guān)鍵部件，撓性軸的設(shè)計(jì)直接關(guān)系到加速度計(jì)的許多重要性能，本章重點(diǎn)討論了

2、撓性軸的形狀和尺寸設(shè)計(jì)最后討論了傳，感器的頻率特性廠。針對(duì)關(guān)鍵5E進(jìn)行了單項(xiàng)實(shí)驗(yàn)尊口：硅尖高度控制和決定隧道電極間距離的橋墩高度控制等在單項(xiàng)實(shí)驗(yàn)中采取KOH腐蝕系統(tǒng)，總結(jié)了在不同溫度和配比下的腐蝕性能，以及加入異丙醇(刪)后腐蝕性能的改變?cè)诠杓庵苽浜弥螅杓獾谋Ｗo(hù)也很關(guān)鍵，總共考慮了四種方式來保護(hù)硅尖，通過單項(xiàng)實(shí)驗(yàn)。首次采用二氧化硅氮化硅二氧化硅三層結(jié)構(gòu)來保護(hù)硅尖結(jié)合結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的結(jié)、果及本校工藝條件，設(shè)計(jì)了版圖‘。i，論文設(shè)計(jì)了加速度傳