MEMS電容式加速度傳感器檢測(cè)電路研究.pdf_第1頁(yè)
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1、電容式傳感器是將被測(cè)量的非電量變化轉(zhuǎn)換為電容變化量的一類傳感器。集成電路和微電子機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計(jì)與加工技術(shù)的迅猛發(fā)展，使得MEMS傳感器的研究和應(yīng)用得到了極大的發(fā)展。MEMS電容式傳感器作為微電子機(jī)械系統(tǒng)研究和制造領(lǐng)域重要的分支，具有體積小、易集成、低成本、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于航空航天、工業(yè)自動(dòng)化、汽車安全氣囊等領(lǐng)域。
　　 本文分析了國(guó)內(nèi)外傳感器的典型形式，比較了各種MEMS電容測(cè)量電路的優(yōu)缺點(diǎn)，針對(duì)MEMS電容式加速度傳感

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