顆粒硅帶襯底上多晶硅薄膜太陽電池工藝研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、在中國首次采用顆粒硅帶制備技術和快速熱化學沉積技術,進行低成本顆粒硅帶襯底上多晶硅薄膜電池研究.采用高溫路線下,以SSP(Silicon sheets from powder)硅帶為襯底,開展SSP硅帶直接外延多晶硅薄膜電池和SSP硅帶隔離層上多晶硅薄膜太陽電池的有關工藝、相關理論的研究.主要研究內(nèi)容和結(jié)果如下:首先采用SSP晶化生長技術制備了SSP硅帶.進一步對顆粒硅帶的制備工藝進行了新的嘗試.結(jié)果表明SSP硅帶的表面質(zhì)量得到了顯著的

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