MEMS微驅動器的設計、工藝及應用.pdf

1、微驅動器作為MEMS十分重要的分支之一,近年來受到國外和國內研究人員的廣泛關注,并且具有廣闊的應用前景。本文提出的低驅動電壓、大變形的MEMS微驅動器,可用于微諧振器、微機械光開關、相控陣天線、RF開關、移相器等微器件中。
　　論文主要包括以下內容:
　　1.本文所研究的MEMS微驅動器模型是基于壓桿穩(wěn)定、縱橫彎曲、靜電驅動等原理和MEMS技術設計加工的,其結構包括直梁結構和折梁結構,本文對其原理與結構尺寸的選取進行了詳細的

2、介紹。
　　2.對MEMS微驅動器的參數進行了優(yōu)化。改變MEMS微驅動器中梁的厚度,分析對微梁的撓度的影響,當微驅動器的驅動電壓為11V時,直梁結構和折梁結構所對應的最大振動撓度分別為10.31μm和11.27μm;通過改變調節(jié)電極的長度和個數,分析了軸向載荷大小對微驅動器最大振動撓度的影響。
　　3.介紹了微驅動器主要的加工工藝,并設計了驅動器加工所需掩膜版、加工流片以及微梁的裝配。
　　4.將微驅動器用于RF開關,