基于計(jì)算流體力學(xué)的準(zhǔn)分子激光器流場(chǎng)研究.pdf

1、在大規(guī)模集成電路工藝的光刻技術(shù)領(lǐng)域,為了獲得更穩(wěn)定的、更小尺寸的微加工,對(duì)激光輸出的穩(wěn)定性有很高的要求。激光器需要在高重復(fù)頻率下流場(chǎng)參數(shù)保持穩(wěn)定,這對(duì)激光器氣體循環(huán)系統(tǒng)的研究和設(shè)計(jì)提出了新的要求。本文用計(jì)算流體力學(xué)的理論知識(shí)和軟件對(duì)準(zhǔn)分子氣體激光器的內(nèi)流場(chǎng)進(jìn)行了研究。
　　首先,介紹了準(zhǔn)分子激光器產(chǎn)生激光的原理及激光腔內(nèi)部的結(jié)構(gòu),分析影響準(zhǔn)分子激光器流場(chǎng)分布的主要因素,結(jié)合流體力學(xué)和風(fēng)機(jī)的知識(shí),對(duì)風(fēng)機(jī)的選型做詳細(xì)的說(shuō)明,確定了激光

2、器氣體循環(huán)的關(guān)鍵裝置與設(shè)計(jì)原理。
　　其次,建立激光器氣體流動(dòng)腔的數(shù)學(xué)模型,主要考慮橫流風(fēng)機(jī)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。主要在Gambit軟件中建模并進(jìn)行網(wǎng)格劃分,在了解數(shù)值模擬的基本概念和對(duì)應(yīng)的研究方法的基礎(chǔ)上,結(jié)合Fluent軟件的功能,找出精確高效的數(shù)值計(jì)算方法。
　　接著,根據(jù)激光器工作時(shí)的條件,選擇合適的邊界條件,利用Fluent軟件求解腔內(nèi)流場(chǎng)分布,獲得大量速度場(chǎng)、壓力場(chǎng)的數(shù)據(jù)資料,在后處理中使用Tecplot軟件提取出放電區(qū)域