基于諧振頻率自動識別的超聲波電源研究.pdf

1、超聲波拋光技術可以對模具內腔進行有效的拋光加工。超聲波電源是超聲拋光系統(tǒng)的主要設備之一，承擔了波形產生、檢測監(jiān)控、功率控制和電路保護等功能。針對目前超聲波電源在超聲拋光應用中諧振頻率無法自動識別和功率不可調問題，本文開展了相關的理論和實驗研究，具體開展的研究工作如下：
　　 1．根據(jù)超聲波拋光的特點，分析了超聲波拋光電源的組成以及超聲波電源負載的組成和各部分的功能，并以壓電換能器作為研究對象，建立了電路模型。
　　 2．

2、以壓電換能器的電路模型為基礎，推導了電路動態(tài)參數(shù)的理論測量方法。結合應用，介紹了兩種動態(tài)測量諧振頻率的方法和一種手動檢測驗證方法。
　　 3．在已知諧振頻率的情況下，對超聲波電源負載進行了必要的匹配，使其工作在最優(yōu)狀態(tài)。
　　 4．根據(jù)理論分析諧振頻率和動態(tài)檢測諧振頻率的方法，做了諧振頻率的檢測實驗，將理論測量值與動態(tài)測量值做了比較，驗證了動態(tài)測量的可行性。
　　 5．根據(jù)設計的匹配電路，開展了驅動負載的實驗，有