基于洛埃干涉系統(tǒng)的亞微米光柵的制作與測試.pdf

1、光波導在通信、軍事、電力、天文、傳感等應用領域中發(fā)揮著重要作用，而實現(xiàn)這一切功能都要依靠眾多優(yōu)良光波導材料的特性。在光波導結構內部制備的具有細微周期結構的光柵，它具有波導光波面交換、調整和波長色散等多種功能。但是不幸的是，制作小尺寸光柵，尤其是亞微米光柵，工藝精度要求高，制作難度大。本文提出了運用一種應用洛埃鏡設計的全息干涉系統(tǒng)來制作全息亞微米光柵的方法。制作出來的系統(tǒng)具有比較高的槽密度調整精度，且新裝置的結構要比其他裝置簡單，調整方便

2、而且穩(wěn)定。
　　 本文從理論和實驗兩方面討論了基于洛埃鏡干涉系統(tǒng)制作亞微米光柵方法的可行性，并且取得了較為滿意的結果，主要研究內容包括：⑴分析了光在電介質分界面和金屬表面的反射問題后，在洛埃鏡干涉系統(tǒng)中選擇了SIGMA-TFAN-5060R10-1鍍鋁膜反射鏡，解決了以往洛埃鏡干涉中的略入射角對光柵周期的限制問題。⑵分別用氦氖激光器和半導體綠光激光器搭建了具體的全息洛埃鏡干涉光路，解決了實驗中光束準直、擴束及光斑質量等實際問題。