基于柔性鉸鏈的微動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)與運(yùn)動(dòng)仿真.pdf

1、分類號(hào)：UDC：密級(jí)：學(xué)校代號(hào)：學(xué)號(hào)：1184521l1001087廣東工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文(工學(xué)碩士)基于柔性鉸鏈的微動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)與運(yùn)動(dòng)仿真何偉宏指導(dǎo)教師姓名、職稱：高健教授專業(yè)或領(lǐng)域名稱：扭越電壬工程學(xué)生所屬學(xué)院：扭電工程堂院論文答辯日期：2Ql曼生魚目摘要摘要隨著運(yùn)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)不斷向高速、大行程、納米級(jí)精度的方向發(fā)展，精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的研究已倍受研究人員的關(guān)注。本論文面向微電子裝備的高速、大行程、高精度運(yùn)動(dòng)的需求，開展宏微復(fù)合運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的關(guān)

2、鍵技術(shù)研究，通過(guò)基于柔性鉸鏈設(shè)計(jì)理論的微平臺(tái)設(shè)計(jì)與有限元分析、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的動(dòng)力學(xué)建模和宏微平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)切換方法等研究，來(lái)實(shí)現(xiàn)平臺(tái)的精密定位。本文的主要研究?jī)?nèi)容如下：1、深入調(diào)研精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)技術(shù)的國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)，了解精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)組成和驅(qū)動(dòng)技術(shù)，分析目前該領(lǐng)域尚存在的難點(diǎn)問(wèn)題。2、開展基于柔性鉸鏈的微動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)，在柔性鉸鏈分析與柔度計(jì)算的基礎(chǔ)上，選擇柔性鉸鏈類型，確定柔性鉸鏈作用于微動(dòng)平臺(tái)的形變量，分析柔性鉸鏈移動(dòng)副的伴生運(yùn)動(dòng)對(duì)

3、微平臺(tái)的精度影響，設(shè)計(jì)出基于對(duì)稱式柔性鉸鏈移動(dòng)副結(jié)構(gòu)的微動(dòng)平臺(tái)。同時(shí)開展微動(dòng)平臺(tái)的有限元建模分析，通過(guò)靜力學(xué)分析和平臺(tái)的模態(tài)分析，了解平臺(tái)的靜態(tài)特性和動(dòng)態(tài)響應(yīng)。3、針對(duì)宏微復(fù)合運(yùn)動(dòng)的龍門式宏平臺(tái)，研究平臺(tái)的機(jī)械電氣控制系統(tǒng)，并根據(jù)PMAC運(yùn)動(dòng)控制卡的動(dòng)態(tài)連接庫(kù)，開發(fā)上位機(jī)控制模塊；同時(shí)開展運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的定位精度測(cè)試與實(shí)驗(yàn)，對(duì)宏運(yùn)動(dòng)的振動(dòng)性能進(jìn)行分析。4、針對(duì)高速運(yùn)動(dòng)過(guò)程宏微運(yùn)動(dòng)的切換問(wèn)題，提出一種雙層動(dòng)態(tài)切換的方法，即在首先進(jìn)行位置檢測(cè)方式