高精度定位平臺振動誤差補償技術研究.pdf

1、隨著納米光刻、MEMS封裝、超精密加工、微電子工程、生物醫(yī)學工程等領域的迅速發(fā)展，對定位平臺的定位精度要求也越來越高，定位系統(tǒng)的發(fā)展也將促進超精密加工、精密測量及大規(guī)模集成電路等行業(yè)的發(fā)展。振動是影響定位平臺定位精度的主要因素之一，為進一步提高定位平臺的精度，本文針對直線電機驅動的氣浮定位平臺的振動特性，重點研究振動對定位精度的影響。通過設計振動誤差補償機構對定位平臺因振動而引起的誤差進行實時補償，實現定位平臺的高精度定位。
　　

2、針對定位平臺高精度、高動態(tài)的運動特性，設計定位平臺的總體結構，并基于內部振源的振動特點，建立X、Y、Z三方向的振動的物理和數學模型，計算其固有頻率，同時建立定位平臺的機電耦合數學模型，采用PID控制與最小節(jié)拍組合控制方法，完成定位系統(tǒng)的階躍仿真分析，驗證定位平臺能夠進行高加速啟停的往復平穩(wěn)運動。
　　基于高精度定位平臺的振動誤差，設計基于壓電陶瓷（PZT）直接驅動雙層平行板彈性鉸鏈形式的振動補償機構，通過有限元仿真分析，研究振動補