液晶平板測量中掃描成像關(guān)鍵技術(shù)的研究.pdf

1、平板顯示屏的檢測儀器主要包括外觀檢測儀器、陣列檢測儀器等。隨著平板顯示屏生產(chǎn)線代次，從6代、7.5代、8代到8.5代的不斷發(fā)展，平板組件的尺寸越來越大，相應(yīng)的檢測視場也越來越大。對瑕疵檢測分辨率要求的不斷的提高，靠降低成像鏡頭放大倍率來擴大視場的方法已不能滿足測量要求。本文依托重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項“平板顯示屏自動光學(xué)檢測儀器開發(fā)與應(yīng)用”，針對在TFT-LCD精密組裝生產(chǎn)線中，大范圍高精度成像要求，實現(xiàn)高速高分辨率掃描檢測。主要研究相

2、機的選型、鏡頭的設(shè)計、相機調(diào)整機構(gòu)的設(shè)計、照明系統(tǒng)設(shè)計和圖像拼接技術(shù)。
　　在TFT精密組裝生產(chǎn)線中，視覺檢測采用高分辨率與高靈敏度的成像技術(shù)獲取被測目標(biāo)的圖像，再經(jīng)過快速圖像處理與圖形識別算法，從圖像中獲取目標(biāo)的尺寸、位置、方向和缺陷等信息，從而實現(xiàn)目標(biāo)產(chǎn)品在檢驗、裝配線上的目標(biāo)識別與鑒定、目標(biāo)定位與裝配機構(gòu)的引導(dǎo)等任務(wù)。為解決大視場高精度的測量，本課題采用16k系列線陣掃描相機進行掃描成像，針對地設(shè)計M72鏡頭，這個鏡頭實現(xiàn)焦