低電壓高通量MEMS數(shù)字微流控芯片基礎理論及關鍵技術研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩65頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、以微型全分析芯片系統(tǒng)為基礎發(fā)展起來的“芯片實驗室”技術是微型分析儀器發(fā)展的重要方向，基于電潤濕技術的數(shù)字微流控芯片，以其靈活、快速、微量、結構兼容好、易于自動化控制等優(yōu)點，正以強勁的勢頭推動著片上實驗室技術的不斷發(fā)展。特別是在生化應用領域的集成數(shù)字微流控芯片，已發(fā)展成為芯片技術中一個引人矚目的新興研究領域。
　　本碩士論文針對電潤濕技術為核心的數(shù)字微流控芯片操作微流體存在的驅動電壓較高、液滴操作動力學飽和、驅動模塊與傳感檢測系統(tǒng)單

2、片一體化等問題，提出了實現(xiàn)低電壓、高穩(wěn)定性和高通量的器件設計方案，并通過實驗驗證了方案的可行性；探索建立了電潤濕動態(tài)飽和模型；探索了與數(shù)字微流控芯片集成的傳感技術與加工工藝方法，實現(xiàn)了芯片的驅動模塊與傳感單元的集成。
　　本文工作主要如下：
　?。?）本文在查閱大量文獻、資料和總結前期研究工作的基礎上，系統(tǒng)地總結了數(shù)字微流控芯片的設計要點與評價方法，提出了電壓、高通量的芯片設計方案；
　?。?）利用MEMS加工技術完成

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論