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文檔簡(jiǎn)介
1、基于半導(dǎo)體金屬氧化物的氣體傳感器由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉、反應(yīng)迅速、檢測(cè)范圍寬等優(yōu)點(diǎn)成為研究最多、應(yīng)用最廣泛的氣體傳感器。氧化鋅(ZnO)是迄今為止最重要的半導(dǎo)體敏感材料之一,然而,基于ZnO的氣體傳感器存在著工作溫度高、靈敏度低、選擇性不高等缺點(diǎn),大大地限制了其進(jìn)一步應(yīng)用。傳統(tǒng)的ZnO傳感器主要是基于粉體材料制成的薄膜或厚膜傳感器,隨著納米合成技術(shù)的進(jìn)步,各種形貌和結(jié)構(gòu)的ZnO納米材料被合成,ZnO傳感器的研究逐漸轉(zhuǎn)向納米結(jié)構(gòu)。氣敏性能
2、的提升根本上取決于材料的催化性能和表面化學(xué)性質(zhì),因此表面改性,降低材料粒徑,合成多級(jí)結(jié)構(gòu)可以大幅提高材料氣敏性能。
貴金屬由于其特有的催化活性,與ZnO形成復(fù)合材料由于其協(xié)同效應(yīng),性能必然優(yōu)于純ZnO。本文立足于提高材料靈敏度、改善選擇性、加快響應(yīng)恢復(fù)時(shí)間等問(wèn)題,系統(tǒng)地研究了不同微觀形貌對(duì)納米尺度ZnO氣敏性能的影響,并深入地研究了貴金屬納米Au修飾后ZnO的氣敏性能,重點(diǎn)闡述了復(fù)合材料各組分之間的相互作用機(jī)理,為開發(fā)新型高效
3、高穩(wěn)定性半導(dǎo)體敏感材料提供理論依據(jù)。本文的主要工作有:
一:采用近室溫化學(xué)浴法和水熱法,通過(guò)調(diào)控實(shí)驗(yàn)條件制備出具有尺寸均一、形貌規(guī)整等特點(diǎn)的分級(jí)ZnO納米棒和納米針,系統(tǒng)地研究了產(chǎn)物的制備條件及物相、形貌、光學(xué)性能,同時(shí)利用XPS,EDS技術(shù)研究其表面結(jié)構(gòu)。
二:利用水熱法對(duì)所得ZnO材料進(jìn)行納米Au粒子修飾,成功得到Au/ZnO復(fù)合材料,并保持ZnO結(jié)構(gòu)和形貌。對(duì)不同含量納米Au修飾的復(fù)合材料進(jìn)行詳細(xì)表征,Au納米
4、粒子與ZnO之間的緊密接觸引起化學(xué)表面改性并產(chǎn)生特有的活性位點(diǎn),對(duì)Au納米粒子修飾ZnO復(fù)合材料氣敏性能的系統(tǒng)研究表明對(duì)于不同的ZnO微納米結(jié)構(gòu),納米Au粒子對(duì)其氣敏性能的影響是不一樣的。當(dāng)ZnO的微觀結(jié)構(gòu)為納米棒時(shí),6 wt%納米Au修飾使Au/ZnO復(fù)合材料氣敏性能最佳,而對(duì)于ZnO納米針,Au納米粒子的最佳修飾量為10 wt%。與純ZnO相比,納米Au修飾的Au/ZnO復(fù)合材料的氣敏性能均得到顯著的提高。與商用ZnO及等量Au修飾
5、商用ZnO相比,多級(jí)的ZnO及Au/ZnO性能明顯優(yōu)于商用ZnO。
三:采用室溫浸漬法對(duì)水熱法合成ZnO納米棒進(jìn)行納米Au修飾,室溫浸漬法可簡(jiǎn)單方便的得到Au/ZnO復(fù)合材料,同時(shí)Au納米粒子粒徑均勻且可控,納米Au含量以EDS確定。研究發(fā)現(xiàn)當(dāng)納米Au粒徑約為10-30 nm時(shí),可大幅提高材料的敏感性能;當(dāng)納米Au粒徑減小到2-5 nm時(shí),即使修飾量較多,由于Au粒徑太小,致使與ZnO接觸面積小且容納電子有限,不能更好地發(fā)揮其
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