一種基于壓電薄膜的三維諧振觸發(fā)測頭系統(tǒng)設計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、近年來，隨著超精密加工和微細加工技術的廣泛應用，微型機械、超精密光學器件、MEMS等越發(fā)趨于微型化，傳統(tǒng)的三坐標測量機(CoordinateMeasuring Machining，CMM)已滿足不了這些微小器件和微位移量的測量精度要求，因此研制新型微納米CMM成為了當下新的發(fā)展趨勢。作為微納米CMM三維測量技術核心的三維測頭觸發(fā)定位技術逐漸成為國內外研究的熱點和難點問題。針對微納米CMM中三維納米測頭的研究瓶頸，提出了一種與現(xiàn)有機械接觸

2、式測頭和光學非接觸式測頭工作原理完全不同的、可達到納米/亞納米量級觸發(fā)分辨率的新型諧振測頭。
　　該測頭利用PVDF壓電薄膜的壓電特性和其諧振參數(shù)對微小作用力的高敏感性，與一體式光纖微測桿測球相結合構建成了基于PVDF壓電薄膜的三維諧振觸發(fā)測頭。由該測頭與三維納米定位平臺、數(shù)據處理及反饋控制系統(tǒng)相結合構建成了三維諧振觸發(fā)測頭系統(tǒng)。本文對這種新型諧振測頭的構建模型、結構及性能進行了闡述，并對整個系統(tǒng)的搭建、調試進行了詳細介紹，最后對

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