晶硅太陽能電池表面鈍化薄膜和機理的研究.pdf

1、近年來，隨著太陽能技術的蓬勃發(fā)展，在人們的日常生活中，太陽能電池應用的領域越來越廣泛，而目前應用最多的就是硅太陽能電池。而如何降低晶硅太陽能電池的表面復合速率，提高光電轉換效率成為目前人們研究的熱點。
　　氧化鋁薄膜具有介電常數(shù)高，熱穩(wěn)定性好，制備溫度較低等優(yōu)點，而且能有效降低晶硅表面的復合速率，提升電池轉換效率，非常適合作為晶硅太陽能電池表面的鈍化薄膜。
　　本文主要研究了利用溶膠-凝膠技術在晶硅太陽能電池上制備氧化鋁薄膜

2、，并對幾種主要的鈍化薄膜的鈍化機理進行研究，通過對實驗過程中工藝參數(shù)的控制來得到不同質量的氧化鋁薄膜，并對制備的氧化鋁薄膜進行研究測試分析。
　　本文首先介紹了太陽能電池及太陽能電池表面鈍化的發(fā)展狀況，闡述了太陽能電池原理和太陽能電池表面鈍化的原理，以及C-V法測試MIS結構的原理。成功在晶硅太陽能電池表面制備出高性能的氧化鋁鈍化薄膜，其中，測試得到的薄膜參數(shù)為:透過率達到95.6％，截止頻率約為2×105Hz，界面態(tài)密度為5.8