微通道熱壓成形溫度控制系統(tǒng)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、大連理工大學碩士學位論文微通道熱壓成形溫度控制系統(tǒng)研究姓名：韓建超申請學位級別：碩士專業(yè)：機械電子工程指導教師：劉沖王曉東20040301AbstractWiththeextensiveapplicationofmicrofluidicchipsinbiochemistryanalyticalchemistryandotherfields，realizationautomationandvolumeproductionofthefabr

2、icationformicroflnidicchipshavebeentheconsequentialtendencyInthisdissertation，basedontheanalysisofthedevelopmentofthefabricationtechnologyformicrofluidicchips，atemperaturecontrolsystemhasbeendeveloped，whichisbasedontherm

3、oelectricmoduleforfabricatingplasticmicrochannelbyhotembossingTheperformanceofthetemperaturecontrolsystemhasbeenanalyzedandvalidatedbyexperimentsPlasticmicrofluidicchipsfabricationtechnologyandthetemperaturecontr01system

4、sforhotembossingweresummarized弧eflowbehaviorofplasticsubslratesusedforhotembossinglithographyandtheeffectoftemperatureforfabricationqualityofmicrochannelinhotembossingprocesswasnarrated曰1cfollowingisthemaincontent：Thesch

5、emeofsystemWasinvestigatedThethermoelectricmoduleasheat／coolingelementandcirculating—waterassistingcoolingwereemployedintemperaturesystemByanalyzingthecharacteristicoft11ethermoelectricmodulethepowerofheating／coolinginho

6、tembossingWascalculated。thenumberandtypeweredeterminedThemechanismhadbeendesignedBasedonthehotembossingtechnologyandtherequirementofinstallationofTEmodule，themethodthatheatingplatecomponentsandcoolingtankcomponentswereco

7、rrespondinglyseparatedwasadoptedIts’configuration，fabricationtechniqueandprecisionrequirementweredesignedThemethodsofinstallationandregulationwereexplainednecomputercontr01syStemhadbeendesignedanddevelopedPtl00asthetempe

8、raturesensortemperaturesignalconditioningmodule王，Vsignalconditioningmodule加conveMerwerecollocatedCommenceontheparameteroffour“rEmoduleinseries，thepowerunitWasdeveloped，whichpowercarlbeadjustedbyON／OFFtimefromI／Osignaland

9、currentdirectionCanbecontrolledbyrelaysignal，bothsignalareoutputfromcomputerTesthadbeendoneExperimentsincludetherising／fallingspeed，temperaturecontrolaccuracyandtemperaturedistributinguniformity啊”resultshowtherising／fall

10、ingspeedexceedtherequirementO5％／sandO3％／srespectivelyTheaccuracyoftemperaturecontrolis如2℃Actuallyinsteadystate。duringoperationinhotembossingthetempemturedeviationinthepartofchipisless血an01℃nesystemhasbeenappliedtofabrica

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