高沖擊下MEMS微結構動態(tài)特性與接電性能研究.pdf

1、基于MEMS技術制造的MEMS微結構與宏觀尺寸機械結構相比，具有體積小、低功耗、低成本、抗干擾、可批量生產等優(yōu)點，被廣泛應用于航空航天、機械電子等領域。由于MEMS微結構特征尺寸在微米量級，其力學及其它性能與宏觀結構性能有著很大不同。針對武器彈藥系統的高沖擊、快速響應、抗電磁干擾、微型化等特殊應用需求，以一種能從幅值、脈寬兩個特征識別引信正常發(fā)射沖擊和勤務跌落沖擊慣性載荷的MEMS接電慣性開關為典型MEMS微結構進行分析，采用性能測試、

2、理論分析、數值模擬的技術路線，對高沖擊下MEMS微結構動態(tài)特性與接電性能進行研究。
　　首先，對MEMS接電慣性開關進行靜動態(tài)性能測試，分析尺寸效應對性能指標以及測試結果的影響?；趹兲荻壤碚摵凸茴D變分原理，建立高沖擊下微梁動力學模型，分析尺寸效應對高沖擊下微梁撓度、彎曲剛度、固有頻率的影響，修正性能參數并應用到MEMS接電慣性開關中，進一步分析尺寸效應對MEMS接電慣性開關探測識別機構和閉鎖接電機構動態(tài)響應位移的影響。